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15720490226电子半导体废气治理方案
电子厂半导体筒式沸石转轮技术，在实际设计中，需要加洗涤塔作为预处理装置，来拦截粉尘和易溶性的酸碱废气。
半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。
半导体制造工艺产生的挥发性有机废气，主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序，与半导体制造工艺相比，半导体封装工艺产生的有机废气较为简单，主要为晶粒粘贴、封胶后烘烤过程产生的烘烤废气
针对电子厂半导体行业有机废气和毒性气体的治理，筒式沸石转轮废气处理技术的净化原理是：
将普通的220V/380V交流电通过变压器，变频器转换为高频高压的电压，产生足以击穿气体的电压，释放出高能电子，高能电子破坏有机废气中的气体分子之间的化学键，断开这些化学键从而产生了各种碳原子、氧原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合体，等离子体中的氧原子和碳原子结合形成二氧化碳，氧原子和氢原子结合形成水分子，终产生排放到大气中的气体为无污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。
我公司定制的半导体有机废气处理系统方案，VOCs排放浓度符合当地的排放标准，在半导体行业中该系统设备更科学、更安全、高效率的解决废气问题，性价比更高，且无二次污染。
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