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提炼硅产生酸气怎么净化处理

发布日期:2022-10-11浏览次数:6466

  提炼硅产生酸气怎么净化处理


  半导体厂主要生产半导体原材料,比较高纯度的硅,在提炼硅的时候,可能存在空气和水污染。空气污染主要来源于在处理过程中挥发出来的酸性气体,水污染除了有加工使用的化学物质外,还可能带来重金属的污染。


  常见的有四氯化碳、苯类、三氯乙烯、酸类、环己酮、丙酮、铅等,此外还存在噪声、金属粉尘、高频、电离辐射等有害因素。


  处理酸性气体采用酸雾处理塔,又可称为酸雾净化塔,酸雾净化器,酸雾洗涤塔,酸雾净化设备,酸雾废气处理塔等。


  酸碱喷淋塔的结构组成

  酸碱废气处理塔分单塔体和双塔体。采用了圆形塔体,用法兰分阶段相连接而成。具体的由贮液箱、塔体、进风段、喷淋层、填料层、旋流除雾层、出风锥帽、观检孔等组成。


  有机废气和含有酸性/碱性物质的废气。

  对于含有酸性/碱性物质的废气,半导体厂大多采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。但由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远,因此部分酸性/碱性废气在输送z中央废气处理系统前,常因气体特性导致在管道中结晶或粉尘堆积,造成管道堵塞后导致气体外泄,严重者甚z引发爆炸,危害现场工作人员的工作安全。


  酸碱废气处理工艺流程

  酸碱废气处理具体的工艺流程:除去的酸雾烟气→进入到风管→历经酸碱喷淋塔净化处理处理→风机→风管→达标排放


酸雾废气处理工艺说明酸碱废气处理工艺流程

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